Väitös elektroniikan integroinnin ja luotettavuuden alalta, M.Sc. Kristina Bespalova
- Väitös Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulusta, sähkötekniikan ja automaation laitokselta
Milloin
Missä
Tapahtuman kieli
Väitöskirjan nimi: Development of piezoelectric microelectromechanical systems for multiaxial motion and sensing
Tohtoriopiskelija: Kristina Bespalova
Vastaväittäjä: Prof. Lina Sarro, TU Delft, Alankomaat
Kustos: Prof. Mervi Paulasto-Kröckel, Aalto-yliopiston sähkötekniikan korkeakoulu, sähkötekniikan ja automaation laitos
Mikroelektromekaaniset järjestelmät (MEMS) ovat integroitu laajaan sovellusalueeseen. Niitä käytetään yleisesti kuluttaja-, teollisuus-, tietoliikenne-, automaatio-, lääketieteellisillä, puolustus- ja ilmailumarkkinoilla. Tämä tutkimus edistää MEMS-teknologiaa tarkan monisuuntaisen liikkeen luomisen ja havainnoinnin mahdollistamiseksi, keskittyen pääasiassa taso- tai lateraalisen liikkeen kehittämiseen. Väitöskirjan merkitys alan muulle tutkimuksille perustuu sen kykyyn laajentaa mikroskaalan laitteiden ominaisuuksia, tarjoten samalla alhaisemman virrankulutuksen säilyttäen tiiviin integrointitiheyden ja kilpailukykyisen suorituskyvyn. Tutkimuksen keskeisin tulos on MEMS-aktuaattorin valmistus, joka kykenee tasoliikkeeseen, alumiininitridi (AlN) ohutkalvon pietsosähköisen vaikutuksen avulla.
Tämä tutkimus tarjoaa uusia näkökulmia pietsosähköisten materiaalien suunnitteluun ja sovelluksiin, laajentaen MEMS-teknologian rajoja. Tutkimustuloksilla on laaja-alaisia sovelluksia robotiikassa, biolääketieteessä ja ilmailu- ja kulutuselektroniikassa, joissa tarkka liike ja havainnointi ovat ratkaisevia. Yhteenvetona, tämä tutkimus korostaa pietsosähköisten MEMS-laitteiden ja pystysuorille pinnoille kasvatettujen ohutkalvojen mahdollisuuksia mullistaa eri teollisuudenaloja, luoden uusia ratkaisuja liikkeeseen ja havainnointiin.
Avainsanat: Alumiininitridi, mikroelektromekaaniset järjestelmät, metal organic chemical vapour deposition, pystysuorat seinät, pystysuorat pinnat, alumiiniskandiumnitridi, pietsosähköiset materiaalit, pietsosähköisyys, mikrorakenne, ohutkalvot, X-ray diffraction, mikrovalmistus, scanning transmission electron microscopy, elementtimenetelmä
Linkki väitöskirjan sähköiseen esittelykappaleeseen (esillä 10 päivää ennen väitöstä): https://aaltodoc.aalto.fi/doc_public/eonly/riiputus/
Yhteystiedot:
| kristina.bespalova@aalto.fi | |
| Mobile | +358504127838 |
Sähkötekniikan korkeakoulun väitöskirjat: https://aaltodoc.aalto.fi/handle/123456789/53
Zoom pikaopas: https://www.aalto.fi/fi/palvelut/zoom-pikaopas