Tekoälyn, sähköautojen ja datakeskusten nopea kasvu edellyttää uuden sukupolven integroituja piirejä. Teollisuuden ja kuluttajien vaatimuksiin vastaamiseksi nykyaikaisia mikrosiruja on pienennettävä entisestään, niiden arkkitehtuurin on kehityttävä 2D-rakenteista 3D-rakenteisiin ja niissä on käytettävä uusia materiaaleja. Nämä trendit vaikeuttavat laadunvalvontaa entisestään.
Nanokokoluokan sirut (1–7 nm:n solmut) edustavat volyymiltään 0,2 % markkinoista, mutta arvoltaan yli puolta. Näiden sirujen kohdalla pienimmätkin atomitasoiset viat aiheuttavat vuosittain miljardien dollarien menetykset valmistusjätteen, tuotantohäviöiden, kenttävikojen ja tuotepalautusten muodossa.
Monet nanomittakaavan viat jäävät havaitsematta, koska mittaustekniikat ovat saavuttamassa rajansa resoluution puutteen (suurten alueiden tilallinen keskiarvoistaminen), rajoitettujen ominaisuuksien (esim. mitataan vain 3D-rakenteiden yläpintaa) ja epäsuorien mittausrajoitusten (vaativat malleja) vuoksi.
ATOMEL ratkaisee tämän ongelman mullistavalla mittauslaitteistolla, joka on suunniteltu dielektristen kalvojen atomitasoiseen karakterisointiin. Dielektriset kalvot ovat useimmissa nykyaikaisissa siruissa vain muutaman atomin paksuisia ja toimivat sähköeristeinä, jotka ovat välttämättömiä puolijohteiden luotettavuuden ja suorituskyvyn kannalta. Innovatiivinen tekniikkamme mahdollistaa ohutkalvojen paksuuden suoran mittauksen subnanometrin tarkkuudella ja on yhteensopiva 3D-arkkitehtuurien kanssa, mikä mahdollistaa pääsyn kapeille alueille ja mittaukset ei-vaakasuorilla pinnoilla.
Vaikka keksintö on suunniteltu ensisijaisesti puolijohdemetrologiaan, se on sovellettavissa myös muihin toimialoihin, kuten kiinteän tilan akkuihin, biosensoreihin ja aurinkosähköön.
ATOMEL vastaa tarpeeseen uusista ohutkalvometrologiatekniikoista, jotka pystyvät pysymään seuraavan sukupolven puolijohteiden kehityksen vauhdissa. Käyttäjät voivat vähentää hävikkikustannuksia, kasvattaa katteita, pienentää vastuuvastuita ja varmistaa modernin digitaalisen aikakauden perustavanlaatuisen luotettavuuden.
Opiskelijan idea voi kasvaa vaikuttavaksi liiketoiminnaksi
Innovaatiopalvelut tutkijoille idean tunnistamisesta kohti soveltamista.
Aalto Innovationin palvelut auttavat Aalto-yliopiston tutkijoita keksinnön kaupallistamisessa eli kehittämään tutkimustuloksista kannattavaa liiketoimintaa.
